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Mikrosystemtechnik--Wachstum ins Kleine / Wolfram Dötzel.

Title
Mikrosystemtechnik--Wachstum ins Kleine / Wolfram Dötzel.
Author
Dötzel, Wolfram.
Publication
[Leipzig] : Verlag der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig ; Stuttgart : In Kommission bei S. Hirzel, c2006.

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Details

Description
25, [1] p. : 11 ill. (some col.); 22 cm.
Series Statement
Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse, 0138-3957 ; Bd. 2, Heft 1
Uniform Title
Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig, Technikwissenschaftliche Klasse Bd. 2, Heft 1.
Subject
  • Microelectronics
  • Microtechnology
  • Microelectromechanical systems
Bibliography (note)
  • Includes bibliographical references (p. [26]).
Processing Action (note)
  • committed to retain
ISBN
  • 3777614432
  • 9783777614434
OCLC
133112672
Owning Institutions
Harvard Library